本文摘要：国机集团所属沈阳仪表院分担的沈阳市高新技术产业发展计划项目高性能硅电容压力传感器近日成功通过竣工验收。 该项目使用先进设备的微电子和微机械加工结合的工艺技术，在硅电容传感器设计、生产工艺技术、传感器PCB结构等方面具备创新性，解决问题了硅电容传感器研制的工艺技术难题，研发研制出几乎享有自律知识产权的新型高性能硅电容差压传感器产品，产品精度高于0.075%FS，技术水平超过国内领先、国际一流。

国机集团所属沈阳仪表院分担的沈阳市高新技术产业发展计划项目高性能硅电容压力传感器近日成功通过竣工验收。　　该项目使用先进设备的微电子和微机械加工结合的工艺技术，在硅电容传感器设计、生产工艺技术、传感器PCB结构等方面具备创新性，解决问题了硅电容传感器研制的工艺技术难题，研发研制出几乎享有自律知识产权的新型高性能硅电容差压传感器产品，产品精度高于0.075%FS，技术水平超过国内领先、国际一流。

　　项目竣工了年生产能力一万台的硅电容差压传感器生产线，构建了产品的系列化生产，并首次构建智能变送器产品核心传感器的国产化设施，超越了国外的技术封锁，空缺了国内空白。同时，作为上游核心器件，该项研究造就了传感器、变送器及涉及仪表产业的发展，解决问题了有表无芯的问题，有效地承托了高端装备生产产业链建设。

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